प्लाज्मा एचिंग और सीवीडी सिस्टम के लिए उच्च-शुद्धता एल्यूमिना चैम्बर फोकस रिंग
सेंट सेरा का चैम्बर फोकस रिंग प्लाज्मा एचिंग, सीवीडी और पीवीडी सेमीकंडक्टर उपकरणों में उपयोग होने वाला एक महत्वपूर्ण प्रोसेस किट घटक है। 99.8% उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमिना (Al₂O₃) से निर्मित यह रिंग वेफर के किनारे को घेरकर प्लाज्मा को सीमित करता है और आयन कोणीय वितरण को अनुकूलित करता है, जिससे वेफर की सतह पर एचिंग की एकरूपता में सुधार होता है। यह सामग्री असाधारण प्लाज्मा प्रतिरोध, उच्च परावैद्युत सामर्थ्य (15×10⁶ V/m) और 1600°C तक ऊष्मीय स्थिरता प्रदान करती है, जो आक्रामक फ्लोरीन- या क्लोरीन-आधारित प्लाज्मा वातावरण में दीर्घकालिक विश्वसनीयता सुनिश्चित करती है। सटीक ग्राउंडेड आईडी/ओडी और समतलता (≤10 μm) वेफर के किनारे की सटीक स्थिति को सक्षम बनाती है, जिससे किनारे के दोष और कणों का निर्माण कम होता है।
विशेष विवरण(99.8% एल्युमिनियम पर आधारित)₂O₃):
| संपत्ति | कीमत |
| सामग्री | 99.8% एल्यूमिना (हाथी दांत) |
| घनत्व | 3.93 ग्राम/सेमी³ |
| जल अवशोषण | 0% |
| आनमनी सार्मथ्य | 361 एमपीए |
| अस्थिभंग बेरहमी | 3–4 एमपीए·मी¹/² |
| विकर्स कठोरता | 16 जीपीए |
| यंग का मापांक | 380 जीपीए |
| ऊष्मीय चालकता | 32 W/m·k |
| तापीय विस्तार (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ढांकता हुआ ताकत | 15×10⁶ V/m |
| विशिष्ट प्रतिरोध | >10¹⁴ Ω·cm |
| अधिकतम परिचालन तापमान | 1600 डिग्री सेल्सियस |
आवेदन:
- · डाइइलेक्ट्रिक एचिंग चैंबर फोकस रिंग (ऑक्साइड, नाइट्राइड एचिंग)
- · सिलिकॉन एचिंग चैम्बर एज रिंग
- · सीवीडी चैम्बर प्रक्रिया किट रिंग
- • पीवीडी चैम्बर शील्ड और क्लैम्प रिंग
विनिर्माण प्रक्रिया:
उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना पाउडर को आइसोस्टैटिकली प्रेस किया जाता है → लगभग शुद्ध आकार में ग्रीन मशीनिंग की जाती है → 1600°C पर सिंटरिंग की जाती है → आंतरिक भाग, बाहरी भाग और मोटाई की सीएनसी डायमंड ग्राइंडिंग की जाती है → 10 μm से कम समतलता प्राप्त करने के लिए लैपिंग की जाती है → अल्ट्रासोनिक सफाई की जाती है → 100% सीएमएम निरीक्षण किया जाता है। सतह की फिनिश Ra ≤0.4 μm कणों के चिपकने को कम करती है।
गुणवत्ता नियंत्रण:
- • 100% आयामी निरीक्षण (आंतरिक सतह, बाहरी सतह, मोटाई, समानांतरता)
- • सूक्ष्म दरारों के लिए डाई पेनिट्रेंट परीक्षण (कोई दरार स्वीकार्य नहीं है)
- 20× माइक्रोस्कोप के नीचे दृश्य निरीक्षण - कोई चिप्स, रिक्त स्थान या रंग परिवर्तन नहीं पाया गया।
- · एएसटीएम डी149 के अनुसार परावैद्युत सामर्थ्य परीक्षण (नमूनाकरण)
सिलिकॉन या क्वार्ट्ज फोकस रिंग की तुलना में इसके फायदे:
- फ्लोरोकार्बन प्लाज्मा में जीवनकाल 5-10 गुना अधिक होता है।
- • वेफर्स को दूषित करने वाले कोई उपभोज्य क्षरण कण नहीं मौजूद हैं।
- • उच्च परावैद्युत सामर्थ्य चाप उत्पन्न होने से रोकता है
- • हजारों आरएफ घंटों तक समतलता और आयामी सटीकता बनाए रखता है
वैकल्पिक सामग्री — यट्रिया-स्थिर ज़िरकोनिया (ZrO)₂):
उच्च फ्रैक्चर टफनेस की आवश्यकता वाले अनुप्रयोगों (जैसे, बार-बार थर्मल साइक्लिंग या मैकेनिकल शॉक वाले चैंबर) के लिए, ZrO₂ फोकस रिंग (घनत्व 6.03 g/cm³, फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ 1000 MPa, फ्रैक्चर टफनेस 5–8 MPa·m¹/²) उपलब्ध हैं। हालांकि, एल्यूमिना अधिक किफायती है और अधिकांश फोकस रिंग अनुप्रयोगों के लिए उद्योग मानक है।
अनुकूलन:
- • ग्राहक के ड्राइंग के अनुसार स्टेप प्रोफाइल, काउंटरबोर या माउंटिंग होल बनाना।
- · प्लाज्मा क्षरण प्रतिरोध को बढ़ाने के लिए Y₂O₃ कोटिंग (मोटाई 20–100 μm)
- • पार्ट नंबर, डेट कोड या अलाइनमेंट मार्क्स की लेजर मार्किंग
टिप्पणी:सभी डेटा आपूर्ति की गई Al₂O₃ गुणधर्म तालिका का पूर्णतया पालन करता है। ZrO₂ विनिर्देशों के लिए, आपूर्ति की गई ज़िरकोनिया डेटाशीट देखें। फोकस रिंग डिज़ाइन के लिए पेटेंट मंजूरी आवश्यक हो सकती है - बौद्धिक संपदा अधिकारों के सत्यापन की जिम्मेदारी ग्राहकों की है।
