उच्च तापमान वाले कक्षों की सीलिंग के लिए उच्च शुद्धता वाली एल्यूमिना सिरेमिक सील रिंग
सेंट सेरा की सिरेमिक सील रिंग को ऐसे चरम वातावरणों में पॉलिमर ओ-रिंग के विकल्प के रूप में डिज़ाइन किया गया है जहाँ इलास्टोमर खराब हो जाते हैं। 99.8% उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमिना (Al₂O₃) से निर्मित, यह कठोर सील रिंग स्थिर सीलिंग अनुप्रयोगों में उपयोग की जाती है - आमतौर पर एक नरम धातु या ग्रेफाइट गैस्केट के साथ - 800°C तक के तापमान पर और आक्रामक प्लाज्मा या रासायनिक वातावरण में विश्वसनीय वैक्यूम या गैस अवरोधन प्रदान करने के लिए। यह सामग्री शून्य गैस उत्सर्जन, उच्च संपीडन शक्ति (अंतर्निहित फ्लेक्सुरल शक्ति 361 MPa) और रासायनिक निष्क्रियता (HF को छोड़कर हैलोजन, अम्ल और क्षार के प्रति प्रतिरोधी) प्रदान करती है। सटीक रूप से लैप्ड सीलिंग सतहें (समतलता ≤5 μm, सतह खुरदरापन Ra ≤0.2 μm) धातु या सिरेमिक घटकों के साथ रिसाव-रोधी संपर्क सुनिश्चित करती हैं।
विशेष विवरण(99.8% एल्युमिनियम पर आधारित)₂O₃):
| संपत्ति | कीमत |
| सामग्री | 99.8% एल्यूमिना (हाथी दांत) |
| घनत्व | 3.93 ग्राम/सेमी³ |
| जल अवशोषण | 0% |
| आनमनी सार्मथ्य | 361 एमपीए |
| संपीडन सामर्थ्य (अनुमानित) | >2000 एमपीए |
| विकर्स कठोरता | 16 जीपीए |
| तापीय विस्तार (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| अधिकतम परिचालन तापमान | 800°C (वायु), 1600°C (अक्रिय) |
| सतह की फिनिश (सीलिंग सतह) | Ra ≤0.2 μm (लैप्ड) |
| समतलता (प्रति 25 मिमी) | ≤5 μm |
| हीलियम रिसाव दर | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (उपयुक्त गैस्केट के साथ) |
आवेदन:
- · सेमीकंडक्टर प्रोसेस चैंबर स्टैटिक सील (सीवीडी, पीवीडी, एचिंग)
- • उच्च तापमान वाले भट्टी के दरवाज़े की सील
- · वैक्यूम फीडथ्रू फ्लैंज
- · रासायनिक रिएक्टर पात्र बंद करना
विनिर्माण प्रक्रिया:
आइसोस्टैटिक प्रेसिंग → 1600°C पर सिंटरिंग → अति-सपाट, चिकनी सीलिंग सतह प्राप्त करने के लिए सटीक डबल-साइड लैपिंग → एज चैम्फरिंग → अल्ट्रासोनिक सफाई। प्रत्येक रिंग का मानक धातु गैस्केट के साथ हीलियम लीक डिटेक्टर पर 100% लीक परीक्षण किया जाता है।
गुणवत्ता नियंत्रण:
- · सीएमएम द्वारा आयामी जांच (आंतरिक व्यास, बाहरी व्यास, मोटाई, समानांतरता)
- • Ra और तरंगीयता के लिए सतह प्रोफ़ाइलोमीटर
- ऑप्टिकल फ्लैट का उपयोग करके समतलता का मापन
- · हीलियम रिसाव परीक्षण (बैक-प्रेशराइजेशन विधि)
पॉलिमर ओ-रिंग की तुलना में इसके फायदे:
- · एफएफकेएम के लिए 800°C बनाम <300°C का सामना करता है
- • शून्य गैस उत्सर्जन — निर्वात वातावरण में कोई प्रदूषण नहीं
- • सभी प्रकार के प्लाज्मा रासायनिक अभिक्रियाओं (फ्लोरिन, क्लोरीन, ऑक्सीजन) के प्रति प्रतिरोधी।
- • कोई संपीड़न सेट या स्थायी विरूपण नहीं।
- स्वच्छ वातावरण में असीमित सेवा जीवन
सीमाएँ (महत्वपूर्ण टिप्पणियाँ):
- · यह ओ-रिंग नहीं है— यह एक कठोर सिरेमिक रिंग है जिसे सील करने के लिए एक नरम गैस्केट (तांबा, एल्यूमीनियम या ग्रेफाइट) की आवश्यकता होती है।
- · यह गतिशील गति या बड़े फ्लेंज मिसअलाइनमेंट को समायोजित नहीं करता है।
- • पॉलिमर ओ-रिंग की तुलना में शुरुआती लागत अधिक होती है, लेकिन लंबी जीवन अवधि के कारण स्वामित्व लागत कम हो जाती है।
- • यह नाजुक है — इसे सावधानी से संभालें; इस पर किसी नुकीले बिंदु से प्रहार करने या इसे मोड़ने का दबाव डालने से बचें।
टिप्पणी:ऊपर दिया गया डेटा आपूर्ति की गई Al₂O₃ गुणधर्म तालिका का पूर्णतया अनुसरण करता है। लोचदार पदार्थों के लिए कोई डेटा उपलब्ध नहीं कराया गया है। यह उत्पाद एक स्थिर सील रिंग है, लोचदार ओ-रिंग नहीं। कृपया पुष्टि करें कि यह आपकी अनुप्रयोग आवश्यकताओं को पूरा करता है या नहीं।
