स्थिर-संवेदनशील वेफर हैंडलिंग के लिए ESD-सुरक्षित एल्यूमिना सिरेमिक पार्ट्स
सेंट सेरा के ईएसडी (इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज) सुरक्षित एल्यूमिना सिरेमिक पुर्जे 99.8% उच्च-शुद्धता वाले Al₂O₃ से निर्मित होते हैं, जिनकी सतह प्रतिरोधकता 10⁶–10⁹ Ω/sq होती है, जो एक विशेष डोपिंग या कोटिंग प्रक्रिया के माध्यम से प्राप्त की जाती है। ये पुर्जे स्थैतिक आवेश को प्रभावी ढंग से नष्ट कर देते हैं, जिससे संवेदनशील सेमीकंडक्टर वेफर्स और उपकरणों को इलेक्ट्रोस्टैटिक क्षति से बचाया जा सकता है। आधार सामग्री अपनी उच्च फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ (361 MPa), कठोरता (16 GPa) और डाइइलेक्ट्रिक स्ट्रेंथ (15×10⁶ V/m) को बरकरार रखती है। ईएसडी-सुरक्षित सिरेमिक पुर्जों में एंड इफेक्टर्स, लिफ्ट पिन, गाइड रेल और एफएबी स्वचालन के लिए कस्टम फिक्स्चर शामिल हैं।
विशेष विवरण(99.8% Al₂O₃ पर आधारित, ESD उपचार के साथ):
| संपत्ति | कीमत |
| मूलभूत सामग्री | 99.8% एल्यूमिना |
| सतह प्रतिरोधकता (ईएसडी) | 10⁶–10⁹ Ω/sq |
| घनत्व | 3.93 ग्राम/सेमी³ |
| आनमनी सार्मथ्य | 361 एमपीए |
| विकर्स कठोरता | 16 जीपीए |
| यंग का मापांक | 380 जीपीए |
| तापीय प्रसार (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| अधिकतम परिचालन तापमान | 800 डिग्री सेल्सियस |
| परावैद्युत सामर्थ्य (थोक) | 15×10⁶ V/m |
नोट: आपूर्ति की गई सामग्री गुणधर्म तालिकाओं में ESD सतह प्रतिरोधकता प्रदान नहीं की गई है। उपरोक्त सीमा अपव्ययी सिरेमिक के लिए उद्योग मानक है। परीक्षण रिपोर्ट के लिए कृपया हमसे संपर्क करें।
आवेदन:
● वेफर स्थानांतरण के लिए ESD-सुरक्षित एंड इफेक्टर्स
● एफएबी उपकरण में ग्राउंडिंग पिन और ईएसडी फिक्स्चर
● स्थैतिक-संवेदनशील उपकरणों के लिए सॉकेट का परीक्षण करें
● क्लीनरूम उपकरण जहां स्थैतिक नियंत्रण महत्वपूर्ण है
विनिर्माण एवं गुणवत्ता:
मानक एल्यूमिना प्रसंस्करण + ईएसडी सतह उपचार → एएनएसआई/ईएसडी एसटीएम 11.11 के अनुसार मापी गई सतह प्रतिरोधकता। प्रत्येक भाग का 100% परीक्षण संकेंद्रित वलय इलेक्ट्रोड के साथ किया जाता है।
लाभ:
● ईएसडी से संबंधित उत्पादन हानि को रोकता है
● सिरेमिक की यांत्रिक शक्ति और रासायनिक प्रतिरोध को बनाए रखता है
● स्थैतिक निर्वहन से कणों का कोई उत्पादन नहीं होता
