एकीकृत वैक्यूम चैनलों के साथ एल्यूमिना सिरेमिक एंड इफेक्टर
सेंट सेरा के एल्यूमिना वैक्यूम एंड इफ़ेक्टर में सटीक रूप से निर्मित वैक्यूम चैनल और सक्शन होल सीधे 99.8% उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना बॉडी में एकीकृत होते हैं। यह डिज़ाइन बाहरी वैक्यूम पैड की आवश्यकता को समाप्त करता है, जिससे एकसमान होल्डिंग बल के साथ सीधे वेफर पिकअप संभव हो पाता है। सामग्री की उच्च फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ (361 एमपीए) और कठोरता (16 जीपीए) बार-बार वैक्यूम चक्रों के तहत दीर्घकालिक आयामी स्थिरता सुनिश्चित करती है। पैड क्षेत्र में समतलता 10 μm के भीतर बनी रहती है, जिससे वेफर पर तनाव और टूटना रोका जा सकता है। OEM रोबोट आर्म्स के साथ आसान एकीकरण के लिए वैक्यूम पोर्ट पीछे के माउंटिंग फ्लेंज पर स्थित हैं।
विशेष विवरण(99.8% Al₂O₃ पर आधारित):
| संपत्ति | कीमत |
| सामग्री | 99.8% एल्यूमिना (हाथी दांत) |
| घनत्व | 3.93 ग्राम/सेमी³ |
| आनमनी सार्मथ्य | 361 एमपीए |
| विकर्स कठोरता | 16 जीपीए |
| यंग का मापांक | 380 जीपीए |
| थर्मल विस्तार | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| पैड समतलता | ≤10 μm |
| वैक्यूम चैनल की चौड़ाई | 0.5–2.0 मिमी |
| अधिकतम परिचालन तापमान | 800 डिग्री सेल्सियस |
आवेदन:
● पतले या मुड़े हुए वेफर्स का वैक्यूम पिकअप
● किनारों को पकड़े बिना सीधे वेफर को संभालना
● सोलर सेल और एलईडी सब्सट्रेट का स्थानांतरण
उत्पादन:
सिंटर्ड एल्यूमिना ब्लैंक → वैक्यूम चैनलों और छेदों की 5-एक्सिस सीएनसी ड्रिलिंग → सतह की लैपिंग → अल्ट्रासोनिक सफाई → हीलियम रिसाव परीक्षण। प्रत्येक इफेक्टर की वैक्यूम एकरूपता के लिए 100% प्रवाह परीक्षण किया जाता है।
लाभ:
● बाहरी वैक्यूम पैड की आवश्यकता नहीं (कणों के स्रोतों को कम करता है)
● एकसमान दबाव बनाए रखने से वेफर पर निशान पड़ने से बचाव होता है।
● रासायनिक रूप से निष्क्रिय और क्लीनरूम के अनुकूल
