सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक एंड इफेक्टर – उच्च तापमान पर वेफर हैंडलिंग के लिए उच्च कठोरता
सेंट सेरा का SiC सिरेमिक एंड इफ़ेक्टर उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड (SiC सामग्री 99.72%, मुक्त Si 0.05%) से S1111 बैच सामग्री का उपयोग करके निर्मित किया जाता है। यह असाधारण यांत्रिक गुण प्रदान करता है: फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ 449 MPa (मापा गया), इलास्टिक मॉड्यूलस 457 GPa (मापा गया), और विकर्स कठोरता 25–28 GPa (विशिष्ट)। कम घनत्व (3.10–3.15 g/cm³, विशिष्ट) उच्च विशिष्ट कठोरता प्रदान करता है, जो उच्च गति वाले वेफर ट्रांसफर रोबोट के लिए आदर्श है। 120–150 W/m·K (विशिष्ट) की तापीय चालकता और 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (विशिष्ट) के तापीय विस्तार गुणांक के साथ, यह एंड इफ़ेक्टर उच्च तापमान पर संचालन (1600–1700°C तक, बिना भार के) के दौरान ऊष्मा को प्रभावी ढंग से अपव्ययित करता है और आयामी स्थिरता बनाए रखता है। इसका काला/धूसर रंग और शून्य जल अवशोषण इसे क्लीनरूम के अनुकूल बनाता है।
विशेष विवरण(आपूर्ति की गई SiC S1111 परीक्षण रिपोर्ट और विशिष्ट मानों के आधार पर)):
| संपत्ति | कीमत |
| सामग्री | SiC (99.72% SiC, 0.05% मुक्त Si) |
| रंग | काला/धूसर |
| घनत्व | 3.10–3.15 ग्राम/सेमी³ |
| जल अवशोषण | 0% |
| आनमनी सार्मथ्य | 449 एमपीए (औसत) |
| अस्थिभंग बेरहमी | 3.12 एमपीए·एम¹/² (औसत) |
| प्रत्यास्थ मापांक | 457 जीपीए |
| विकर्स कठोरता | 25–28 जीपीए |
| तापीय चालकता (25°C) | 120–150 W/m·K |
| सीटीई (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| अधिकतम उपयोग तापमान (बिना भार के) | 1600–1700 डिग्री सेल्सियस |
आवेदन:
● उच्च तापमान पर वेफर हैंडलिंग (पोस्ट-एनील, आरटीपी, एपिटैक्सी)
● उच्च क्षरण प्रतिरोध की आवश्यकता वाले प्लाज्मा एचिंग चैंबर
● उच्च गति स्थानांतरण रोबोट (हल्के, उच्च कठोरता वाले)
उत्पादन:
SiC पाउडर सिंटरिंग → आर्म प्रोफाइल और माउंटिंग फीचर्स की सटीक CNC ग्राइंडिंग → सरफेस लैपिंग → अल्ट्रासोनिक क्लीनिंग। वैक्यूम अनुप्रयोगों के लिए 100% आयामी निरीक्षण और हीलियम रिसाव परीक्षण।
गुणवत्ता नियंत्रण:
● लंबाई, चौड़ाई और समतलता का सीएमएम निरीक्षण
● प्रति बैच फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ परीक्षण (परीक्षण रिपोर्ट मानक के अनुसार)
● सतह की खामियों का सूक्ष्मदर्शी से दृश्य निरीक्षण
एल्यूमिना या धातु की तुलना में इसके फायदे:
● एल्यूमिना के लिए ~380 GPa की तुलना में 2 गुना अधिक प्रत्यास्थता मापांक (457 GPa) – कम विक्षेपण
● 3 गुना अधिक तापीय चालकता – तेजी से ऊष्मा का अपव्यय
● यह 1600°C से अधिक तापमान सहन कर सकता है, जबकि एल्यूमिना हवा में केवल 800°C तक ही सहन कर पाता है।
● स्टील से कम घनत्व – वजन में 40% की कमी
अनुकूलन:
लंबाई 150-450 मिमी, टिप के आकार (एज ग्रिप, बर्नौली, फ्लैट), ओईएम ड्राइंग के अनुसार माउंटिंग फ्लेंज पैटर्न।
*ऊपर दिए गए सभी यांत्रिक डेटा आपूर्ति की गई परीक्षण रिपोर्ट (बैच S1111) से लिए गए हैं। तापीय और कठोरता मान इस SiC ग्रेड के लिए सामान्य हैं; कृपया बैच-विशिष्ट प्रमाणीकरण के लिए हमसे संपर्क करें।*
