सटीक कटाई और पीसने के लिए एल्यूमिना वैक्यूम चक
सेंट सेरा का एल्यूमिना वैक्यूम चक 99.8% उच्च शुद्धता वाले Al₂O₃ से निर्मित है, जिसमें सटीक रूप से मशीनीकृत वैक्यूम ग्रूव हैं। हमारी सटीक ग्राइंडिंग क्षमता 0.003 मिमी की समतलता और 0.002 मिमी की समानांतरता प्राप्त करती है, जिससे डाइसिंग, बैकसाइड ग्राइंडिंग और निरीक्षण के दौरान वेफर का विरूपण-मुक्त फिक्सेशन सुनिश्चित होता है। यह सामग्री उच्च फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ (361 एमपीए), कठोरता (16 जीपीए) और 800°C तक थर्मल स्थिरता प्रदान करती है। यह 600 मिमी बाहरी व्यास (OD) तक के गोल आकार और 1500 मिमी लंबाई तक के आयताकार आकार में उपलब्ध है। वैक्यूम ग्रूव को विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुरूप कस्टम-डिज़ाइन (कंसेंट्रिक, रेडियल या ग्रिड पैटर्न) किया जाता है। प्रत्येक चक का लेजर इंटरफेरोमीटर से निरीक्षण किया जाता है और इसके साथ एक समतलता सत्यापन रिपोर्ट प्रदान की जाती है।
विनिर्देश (99.8% एल्युमिनियम पर आधारित)₂O₃(और सेंट सेरा की विनिर्माण क्षमताएं):
| संपत्ति | कीमत |
| सामग्री | 99.8% एल्यूमिना (हाथी दांत) |
| घनत्व | 3.93 ग्राम/सेमी³ |
| आनमनी सार्मथ्य | 361 एमपीए |
| विकर्स कठोरता | 16 जीपीए |
| बाहरी व्यास (अधिकतम) | 600 मिमी |
| मोटाई (अधिकतम) | 100 मिमी |
| लंबाई (अधिकतम) | 1500 मिमी |
| समतलता | 0.003 मिमी |
| समानता | 0.002 मिमी |
| सतह की फिनिश | Ra0.1 |
| अधिकतम परिचालन तापमान | 800 डिग्री सेल्सियस |
आवेदन:
- • वेफर डाइसिंग और स्क्राइबिंग (200 मिमी/300 मिमी और उससे बड़े आकार के)
- · पतली वेफर्स की बैकसाइड ग्राइंडिंग
- · प्रकाशीय निरीक्षण और जांच
- • बड़े सब्सट्रेट को संभालना
विनिर्माण परिशुद्धता:
- · सीधापन: 0.005 मिमी
- लंबवतता: 0.005 मिमी
- · गोलाई: 0.002 मिमी
- संकेंद्रता: 0.01 मिमी








