300 मिमी वेफर प्रोसेसिंग के लिए 12 इंच का एल्यूमिना वैक्यूम चक
सेंट सेरा का 12-इंच वैक्यूम चक 300 मिमी वेफर हैंडलिंग के लिए 99.8% उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमिना (Al₂O₃) से सटीक इंजीनियरिंग द्वारा निर्मित है। चक में एक महीन खांचेदार सतह (खांचे की चौड़ाई 0.5–1.0 मिमी, पिच 2–3 मिमी) है जो पूरे 300 मिमी व्यास में एक समान वैक्यूम वितरण सुनिश्चित करती है। इसकी समतलता 5 माइक्रोमीटर के भीतर बनी रहती है, जिससे डाइसिंग, बैकसाइड ग्राइंडिंग और निरीक्षण के दौरान वेफर को बिना किसी विकृति के स्थिर किया जा सकता है। सामग्री की उच्च फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ (361 एमपीए) और कठोरता (16 जीपीए) बार-बार वैक्यूम चक्रों के तहत भी दीर्घकालिक आयामी स्थिरता की गारंटी देती है।
विशेष विवरण (99.8% Al₂O₃ पर आधारित):
| संपत्ति | कीमत |
| व्यास | 300 मिमी (12 इंच) |
| सामग्री | 99.8% एल्यूमिना (हाथी दांत) |
| घनत्व | 3.93 ग्राम/सेमी³ |
| आनमनी सार्मथ्य | 361 एमपीए |
| विकर्स कठोरता | 16 जीपीए |
| समतलता (300 मिमी से अधिक) | ≤5 μm |
| ग्रूव की चौड़ाई | 0.5–1.0 मिमी |
| अधिकतम परिचालन तापमान | 800 डिग्री सेल्सियस |
| ढांकता हुआ ताकत | 15×10⁶ V/m |
आवेदन:
300 मिमी वेफर की डाइसिंग और स्क्राइबिंग
वेफर बैकसाइड ग्राइंडिंग (पतले वेफर सपोर्ट)
प्रकाशिक निरीक्षण और जांच
अस्थायी बॉन्डिंग/डीबॉन्डिंग चक
उत्पादन:
CNC मशीन द्वारा अंतिम समतलता तक घिसा और पॉलिश किया गया, डायमंड व्हील से खांचे बनाए गए, अल्ट्रासोनिक रूप से साफ किया गया और क्लास 100 क्लीनरूम में पैक किया गया। प्रत्येक चक की समतलता (लेजर इंटरफेरोमीटर) और खांचे की गहराई (प्रोफिलोमीटर) की 100% जांच की जाती है।
लाभ:
कणों का कम उत्पादन (≤0.05 कण/सेमी²)
विलायकों और अम्लों के प्रति रासायनिक रूप से निष्क्रिय
ईएसडी-सुरक्षित सतह (प्रतिरोधकता >10¹³ Ω·cm)
कस्टम वैक्यूम होल पैटर्न और बैकसाइड पोर्ट उपलब्ध हैं।
