सीवीडी/पीवीडी प्रक्रिया कक्षों के लिए उच्च शुद्धता वाली एल्यूमिना सिरेमिक रिंग
सेंट सेरा की सिरेमिक रिंग विशेष रूप से सीवीडी (केमिकल वेपर डिपोजिशन) और पीवीडी (फिजिकल वेपर डिपोजिशन) प्रोसेस चैंबरों में उपयोग के लिए डिज़ाइन की गई है। 99.8% उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमिना (Al₂O₃) से निर्मित, यह रिंग चैंबर लाइनर, फोकस रिंग या प्रोसेस किट घटक के रूप में प्लाज्मा को सीमित करने और चैंबर की दीवारों को क्षरण से बचाने का काम करती है। यह सामग्री उत्कृष्ट प्लाज्मा प्रतिरोध, उच्च परावैद्युत शक्ति (15×10⁶ V/m) और 1600°C तक ऊष्मीय स्थिरता प्रदान करती है, जिससे आक्रामक फ्लोरीन-आधारित प्लाज्मा वातावरण में इसकी लंबी सेवा अवधि सुनिश्चित होती है। सटीक आयामी सहनशीलता (ID/OD पर ±0.05 mm) और समतलता (≤10 μm) वेफर के किनारों की सुसंगत स्थिति सुनिश्चित करती है, जिससे जमाव की एकरूपता में सुधार होता है और कणों का निर्माण कम होता है।
विनिर्देश (99.8% Al₂O₃ पर आधारित):
| संपत्ति | कीमत |
| सामग्री | 99.8% एल्यूमिना (हाथी दांत) |
| घनत्व | 3.93 ग्राम/सेमी³ |
| जल अवशोषण | 0% |
| आनमनी सार्मथ्य | 361 एमपीए |
| अस्थिभंग बेरहमी | 3–4 एमपीए·मी¹/² |
| विकर्स कठोरता | 16 जीपीए |
| यंग का मापांक | 380 जीपीए |
| ऊष्मीय चालकता | 32 W/m·k |
| तापीय विस्तार (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ढांकता हुआ ताकत | 15×10⁶ V/m |
| विशिष्ट प्रतिरोध | >10¹⁴ Ω·cm |
| अधिकतम परिचालन तापमान | 1600 डिग्री सेल्सियस |
आवेदन:
- · सीवीडी चैम्बर फोकस रिंग और एज रिंग
- • पीवीडी चैम्बर शील्ड रिंग और क्लैंप रिंग
- · चैम्बर लाइनर और कवर रिंग पर नक्काशी करें
- · डाइइलेक्ट्रिक एच सिस्टम में प्लाज्मा परिरोधन रिंग
विनिर्माण प्रक्रिया:
आइसोस्टैटिक प्रेसिंग → ग्रीन मशीनिंग → 1600°C पर सिंटरिंग → सीएनसी आईडी/ओडी ग्राइंडिंग → सरफेस लैपिंग → अल्ट्रासोनिक क्लीनिंग → 100% सीएमएम निरीक्षण। अति चिकनी सतह फिनिश (Ra ≤0.4 μm) कणों के चिपकने को कम करती है।
गुणवत्ता नियंत्रण:
- • 100% आयामी जाँच (आंतरिक सतह, बाहरी सतह, मोटाई, समतलता)
- • सतह पर मौजूद सूक्ष्म दरारों का पता लगाने के लिए डाई पेनिट्रेंट का उपयोग करके निरीक्षण करना।
- · ASTM D149 के अनुसार परावैद्युत सामर्थ्य परीक्षण
- · 20× माइक्रोस्कोप के नीचे कोई दृश्यमान रंग परिवर्तन या छिद्रता नहीं है।
धातु या क्वार्ट्ज की अंगूठियों की तुलना में इसके फायदे:
- फ्लोरीन प्लाज्मा में एल्युमीनियम रिंगों की तुलना में 5-10 गुना अधिक जीवनकाल
- • पतली फिल्मों में धातु का कोई संदूषण नहीं है
- क्वार्ट्ज की तुलना में उच्च प्लाज्मा प्रतिरोध (क्षरण के गड्ढे नहीं बनते)
- • लंबे समय तक उपयोग के बाद भी 10¹⁴ Ω·cm से अधिक विद्युत इन्सुलेशन बनाए रखता है
वैकल्पिक सामग्री — सिलिकॉन नाइट्राइड (Si)₃N₄):
उच्चतर फ्रैक्चर टफनेस (6.2 MPa·m¹/²) और बेहतर थर्मल शॉक प्रतिरोध (विस्तार गुणांक 3.2×10⁻⁶/℃) की आवश्यकता वाले अनुप्रयोगों के लिए Si₃N₄ रिंग उपलब्ध हैं। हालांकि, अधिकांश CVD/PVD अनुप्रयोगों के लिए एल्यूमिना अधिक किफायती है। ऑर्डर करते समय कृपया सामग्री की प्राथमिकता निर्दिष्ट करें।
अनुकूलन:
- माउंटिंग के लिए छेद, सीढ़ीदार प्रोफाइल या काउंटरबोर।
- • बेहतर प्लाज्मा प्रतिरोध के लिए Y₂O₃-लेपित सतह (वैकल्पिक)
- · पार्ट नंबर/लॉट कोड की लेजर उत्कीर्णन
टिप्पणी:उपरोक्त डेटा आपूर्ति की गई Al₂O₃ गुणधर्म तालिका का पूर्णतया अनुसरण करता है। Si₃N₄ वलयों के लिए, कृपया अलग से दी गई Si₃N₄ डेटाशीट देखें।
