वेफर हैंडलिंग के लिए उच्च-शुद्धता एल्यूमिना सिरेमिक रोबोट आर्म
सेंट सेरा का एल्यूमिना सिरेमिक रोबोट आर्म 99.8% उच्च शुद्धता वाले Al₂O₃ (एल्यूमिना) से सटीक इंजीनियरिंग द्वारा निर्मित है। इसमें असाधारण लचीलापन (361 MPa), उच्च कठोरता (16 GPa) और कम घनत्व (3.93 g/cm³) का संयोजन है, जिसके परिणामस्वरूप सेमीकंडक्टर वेफर स्थानांतरण के लिए एक हल्का लेकिन मजबूत आर्म बनता है। इस सामग्री का तापीय विस्तार गुणांक (7.2×10⁻⁶/°C) सिलिकॉन के लगभग समान है, जिससे प्रसंस्करण के दौरान तापीय असंतुलन कम से कम होता है।
विशेष विवरण (99.8% Al₂O₃ पर आधारित):
| संपत्ति | कीमत |
| रंग | हाथी दांत |
| घनत्व | 3.93 ग्राम/सेमी³ |
| आनमनी सार्मथ्य | 361 एमपीए |
| विकर्स कठोरता | 16 जीपीए |
| यंग का मापांक | 380 जीपीए |
| ऊष्मीय चालकता | 32 W/m·k |
| थर्मल विस्तार | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ढांकता हुआ ताकत | 15×10⁶ V/m |
आवेदन:
- वैक्यूम वेफर ट्रांसफर रोबोट (200 मिमी/300 मिमी)
- वायुमंडलीय प्रबंधन प्रणालियाँ
- एफएबी स्वचालन के लिए एंड इफेक्टर आर्म्स
विनिर्माण प्रक्रिया:
आइसोस्टैटिक प्रेसिंग → ग्रीन मशीनिंग → 1600°C पर सिंटरिंग → सीएनसी प्रेसिजन ग्राइंडिंग → अल्ट्रासोनिक क्लीनिंग → क्लास 100 क्लीनरूम पैकेजिंग। प्रत्येक आर्म की समतलता (±0.01 मिमी) और सतह खुरदरापन (Ra ≤0.4 μm) के लिए सीएमएम द्वारा 100% जांच की जाती है।
गुणवत्ता नियंत्रण:
सेंट सेरा आईएसओ 9001:2015 प्रमाणित है। हम सूक्ष्म दरारों के लिए डाई पेनिट्रेंट परीक्षण, फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ के लिए थ्री-पॉइंट बेंडिंग और एएसटीएम डी149 के अनुसार डाइइलेक्ट्रिक स्ट्रेंथ परीक्षण करते हैं।
धातु के हथियारों पर इसके फायदे:
- स्टेनलेस स्टील से 50% हल्का
- गैल्वेनिक संक्षारण नहीं
- कणों का कम उत्पादन (≤0.05 कण/सेमी²)
- ईएसडी-सुरक्षित कोटिंग उपलब्ध है (10⁶–10⁹ Ω/sq)
अनुकूलन:
150 मिमी से 450 मिमी तक की लंबाई, टिप के आकार (एज ग्रिप, बर्नौली, वैक्यूम) और माउंटिंग फ्लेंज पैटर्न OEM ड्राइंग के अनुसार उपलब्ध हैं। प्रोटोटाइप 2 सप्ताह में तैयार।
थोक ऑर्डर के लिए, कृपया कोटेशन का अनुरोध करें।
