सेमीकंडक्टर प्रोसेस फिक्स्चर के लिए सिरेमिक सपोर्टिंग पिन
सेंट सेरा के सिरेमिक सपोर्टिंग पिन (जिन्हें लिफ्ट पिन या सपोर्ट पिन भी कहा जाता है) का उपयोग सेमीकंडक्टर प्रोसेस चैंबर में वेफर्स या सबस्ट्रेट्स को हैंडलिंग, हीटिंग या कूलिंग के दौरान ऊपर उठाने के लिए किया जाता है। 99.8% एल्यूमिना या सिलिकॉन नाइट्राइड से निर्मित ये पिन उच्च संपीड़न शक्ति, तापीय स्थिरता और रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करते हैं। अर्धगोलाकार या सपाट टिप डिज़ाइन वेफर पर खरोंच लगने से रोकता है।
विशेष विवरण(एल्यूमिना 99.8%):
| संपत्ति | कीमत |
| सामग्री | 99.8% Al₂O₃ या Si₃N₄ |
| लंबाई | 10 – 100 मिमी |
| व्यास | 1 – 10 मिमी |
| टिप का आकार | चपटा, अर्धगोलाकार, नुकीला |
| संपीडन सामर्थ्य (Al₂O₃) | >2000 एमपीए |
| अधिकतम परिचालन तापमान (Al₂O₃) | 1600 डिग्री सेल्सियस |
| सतह की फिनिश | लैप्ड (Ra ≤0.4 μm) |
| व्यास पर सहनशीलता | ±0.01 मिमी |
आवेदन:
सीवीडी/पीवीडी चैंबरों में लिफ्ट पिन
हॉटप्लेट बेकिंग के लिए सपोर्ट पिन
प्रोब कार्ड समर्थन संरचनाएं
क्वार्ट्ज भट्टी नाव के समर्थन
उत्पादन:
बाहरी सतह की परिशुद्ध केंद्ररहित पिसाई → टिप प्रोफाइल की डायमंड पिसाई → अल्ट्रासोनिक सफाई → 100% आयामी निरीक्षण।
गुणवत्ता नियंत्रण:
लंबाई/व्यास के लिए सीएमएम, टिप त्रिज्या के लिए ऑप्टिकल कम्पेरेटर, संपीडन सामर्थ्य को सत्यापित करने के लिए भार परीक्षण (प्रत्येक लॉट से यादृच्छिक नमूना)। कोई लौहचुंबकीय संदूषण नहीं (चुंबक से सत्यापित)।
धातु या क्वार्ट्ज पिन की तुलना में इसके फायदे:
स्टेनलेस स्टील की तुलना में 5 गुना अधिक जीवनकाल
प्रक्रिया कक्ष में कोई धातु संदूषण नहीं है
क्वार्ट्ज की तुलना में उच्च तापमान सहनशीलता (1600°C बनाम 1100°C)
नॉन-स्टिक सतह (कणों का चिपकना कम)
अनुकूलन:
कई प्रकार के टिप प्रोफाइल, थ्रेडेड बेस या टेपर्ड शाफ्ट।
हम अत्यधिक प्लाज्मा वातावरण के लिए SiC पिन भी सप्लाई करते हैं।
