फिजिकल वेपर डिपोजिशन सिस्टम के लिए एल्यूमिना पीवीडी इन्सुलेशन रिंग
सेंट सेरा की पीवीडी इन्सुलेशन रिंग 99.8% उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना (Al₂O₃) से निर्मित है और इसका उपयोग फिजिकल वेपर डिपोजिशन (PVD) सिस्टम में किया जाता है। यह रिंग चैम्बर घटकों के बीच विद्युत पृथक्करण प्रदान करती है, जिससे आर्क उत्पन्न होने से बचाव होता है और प्लाज्मा का स्थिर संचालन सुनिश्चित होता है। इसके प्रमुख गुणों में उच्च परावैद्युत सामर्थ्य (15×10⁶ V/m), विशिष्ट प्रतिरोध >10¹⁴ Ω·mm²/m और 1600°C तक ऊष्मीय स्थिरता शामिल हैं। हमारी सटीक मशीनिंग क्षमताओं के कारण बाहरी व्यास 600mm तक, आंतरिक व्यास 0.2mm तक, समतलता 0.003mm और सतह परिष्करण Ra0.1 प्राप्त किया जा सकता है। रिंग की शून्य सरंध्रता और रासायनिक निष्क्रियता आक्रामक स्पटरिंग वातावरण में दीर्घकालिक विश्वसनीयता सुनिश्चित करती है।
विनिर्देश (99.8% एल्युमिनियम पर आधारित)₂O₃(और सेंट सेरा की विनिर्माण क्षमताएं):
| संपत्ति | कीमत |
| सामग्री | 99.8% एल्यूमिना (हाथी दांत) |
| घनत्व | 3.93 ग्राम/सेमी³ |
| आनमनी सार्मथ्य | 361 एमपीए |
| विकर्स कठोरता | 16 जीपीए |
| ढांकता हुआ ताकत | 15×10⁶ V/m |
| विशिष्ट प्रतिरोध | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| अधिकतम बाहरी व्यास | 600 मिमी |
| न्यूनतम आंतरिक व्यास | 0.2 मिमी |
| अधिकतम मोटाई | 100 मिमी |
| समतलता | 0.003 मिमी |
| समानता | 0.002 मिमी |
| सतह की फिनिश | Ra0.1 |
| अधिकतम परिचालन तापमान | 1600 डिग्री सेल्सियस |
आवेदन:
- • पीवीडी प्रणालियों में लक्षित बैकिंग प्लेट इंसुलेटर
- · चैम्बर फीडथ्रू इंसुलेटर
- स्पटरिंग सिस्टम में शील्ड रिंग इंसुलेटर
- • प्लाज्मा कक्षों में उच्च-वोल्टेज पृथक्करण
विनिर्माण परिशुद्धता:
संकेंद्रता: 0.01 मिमी, गोलाई: 0.002 मिमी, सीधापन: 0.005 मिमी, लंबवतता: 0.005 मिमी, सीएमएम द्वारा सत्यापित।
Aपॉलिमर इंसुलेटरों पर इसके लाभ:
- • यह 1600°C तक का तापमान सहन कर सकता है, जबकि पॉलिमर की सीमा 300°C से कम होती है।
- • गैसों का उत्सर्जन नहीं होता – वैक्यूम की अखंडता बनी रहती है
- • प्लाज्मा क्षरण और रासायनिक हमले का प्रतिरोध करता है
अनुकूलन:
अनुकूलित क्रॉस-सेक्शन, माउंटिंग फीचर्स, स्टेप प्रोफाइल और कई संकेंद्रित रिंग डिजाइन उपलब्ध हैं।
